【使用注意事項(xiàng)】使用時(shí)用鑷子取出標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)片，放置測(cè)量樣片臺(tái)上
【特征形態(tài)】固態(tài)
【基體】硅單晶材料
【主要分析方法】
| 組分 | 標(biāo)準(zhǔn)值 | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 | 單位 |
| 電阻率值 | 25 | 1.5 | 電阻率值(·cm) |
| 徑向不均勻度（％）（距邊緣6mm以內(nèi)） | 3 | 1.5 | 徑向不均勻度(%) |
【使用注意事項(xiàng)】使用時(shí)用鑷子取出標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)片，放置測(cè)量樣片臺(tái)上
【特征形態(tài)】固態(tài)
【基體】硅單晶材料
【主要分析方法】
| 組分 | 標(biāo)準(zhǔn)值 | 標(biāo)準(zhǔn)偏差 | 單位 |
| 電阻率值 | 25 | 1.5 | 電阻率值(·cm) |
| 徑向不均勻度（％）（距邊緣6mm以內(nèi)） | 3 | 1.5 | 徑向不均勻度(%) |
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