納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)主要包括一下幾種（國家一級標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 5種）：

• GBW13950-納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-標(biāo)準(zhǔn)值 100nm  研制機(jī)構(gòu)：國家納米科學(xué)中心 中國計量院
• GBW13951-納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-標(biāo)準(zhǔn)值  200nm 研制機(jī)構(gòu)：國家納米科學(xué)中心 中國計量院
• GBW13952-納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-標(biāo)準(zhǔn)值  50nm   研制機(jī)構(gòu)：國家納米科學(xué)中心 中國計量院
• GBW13953-納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-標(biāo)準(zhǔn)值  500nm 研制機(jī)構(gòu)：國家納米科學(xué)中心 中國計量院
• GBW13954-納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)-標(biāo)準(zhǔn)值 1000nm 研制機(jī)構(gòu)：國家納米科學(xué)中心 中國計量院

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