納米臺階高度標準物質主要包括一下幾種（國家一級標準物質 5種）：

• GBW13950-納米臺階高度標準物質-標準值 100nm  研制機構：國家納米科學中心 中國計量院
• GBW13951-納米臺階高度標準物質-標準值  200nm 研制機構：國家納米科學中心 中國計量院
• GBW13952-納米臺階高度標準物質-標準值  50nm   研制機構：國家納米科學中心 中國計量院
• GBW13953-納米臺階高度標準物質-標準值  500nm 研制機構：國家納米科學中心 中國計量院
• GBW13954-納米臺階高度標準物質-標準值 1000nm 研制機構：國家納米科學中心 中國計量院

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